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溅射镀膜电源

      爱因森真空溅射镀膜电源具有超高的准确性、高精确度、高稳定性等优良的电子特性,配备强大的打弧管理系统,能有效抑制靶材弧光放电具有极佳的负载匹配能力。该电源是专业用于真空溅射镀膜的电源设备,输出电压及电流独立

广东快乐十分,58彩票网,全民彩票 www.gkdxh.com 可调,恒压恒流自动转换,电源具备极其优越的抗打火短路性能。电压0—1200V,功率0—500KW.

性能特点

.多种规格,电压0—1200V,功率0—500KW之内任选,特殊规格可以定做,时间周期短。

规格型号

电压

     功率

是否现货

AYS-8MV35  (DM)

800V

35KW

0—200KW现货

AYS-8MV70  (DM)

800V

     70KW

0—200KW现货

AYS-8MV100 (DM)

800V

    100KW

0—200KW现货

AYS-10MV35 (DM)

1000V

35KW

0—200KW现货

AYS-10MV70 (DM)

1000V

70KW

0—200KW现货

AYS-10MV100(DM)

1000V

100KW

0—200KW现货

AYS-12MV35 (DM)

1200V

35KW

0—200KW现货

AYS-12MV70 (DM)

1200V

70KW

0—200KW现货

AYS-12MV100(DM)

1200V

    100KW

0—200KW现货

.输出电压可以随不同的靶材变化,智能打弧管理系统和直流电源控制打弧检测时间小于3微秒

.自动稳流功能,可在电网电压和负载大幅度变化的情况下保证电源高效稳定的工作,充分保证镀膜工艺的重复性,精确控制膜厚和减少靶材用量

.针对新靶清洗时存在的频繁打火现象,设计了抑制打火自动?;すδ?,既保证了靶面清洁的工艺的稳定性,又提高了靶面清洁的速度。

.具有电压陡降特性,可充分满足磁控溅射的特殊要求

技术指标(所有技术参数的更改以客户定制数据或者公司最新数据为准)

电压电流调节范围

电压5%-10%额定值---额定值连续可调,电流0-额定值连续可调(恒压恒流自动转换)

源效应

CV0.5  CC0.5 (输出为最高电压,最大电流时测量)

负载效应

CV0.5  CC0.5 (输出为最高电压,最大电流时测量)

纹波电压

CV1  CC1 (输出为最高电压,最大电流时测量)

显示方式

显示为4位半LED数码屏(依客户要求可做液晶显示屏)

本地控制

十圈精密电位器

远程控制

RS232 /RS485串行通信标准配置上位机连接,通过设定的通讯协议控制电源的各种状态

模拟控制

GPIB隔离型模拟控制,0-5V4-20mA信号控制(选配)

?;し绞?span lang="EN-US">

短路,过压,过流,过温

短路?;?span lang="EN-US">

负载打火短路?;?,负载短路可以开机

交流输入电压

三相AC342-420V,50HZ

效率

效率大于0.92

温度

存储-40/85, 工作-10/40

湿度

10-80%(非冷凝,相当于环境温度25度)

标准与规范

GB2894-2008  安全标志及其使用规则      GB4208-2008  外壳防护等级

订货信息:各种规格定做请致电13752258468孙工,我们将按您的要求提供方案和报价